電子行業對于無塵車間的要求

電子行業對于無塵車間的要求:無塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室、無塵室，電子工廠生產工藝分類眾多，有集成電路生產（分為光掩膜、前道工序、后道工序），平南顯示器生產（分為LCD，PDP,TFT,VFD,顯像管），硅材料 生產（單晶硅、多晶硅），光纖生產，制卡業，表面貼裝（SMT），分離器件生產（功率一、二、三級管，電容、電阻），整機組裝生產（機頂盒、數字投影儀、電子數碼相機），自控元器件生產（傳感器、執行機構）等。

由于生產工藝種類繁多，對潔凈度等級要求也不同，高的很高，低的很低；對粒子粒徑控制的要求也不同，范圍約為0.1~5um；對溫濕度控制的要求相對較 高，如集成電路前道工序一般要求室內溫度基數為22℃（精度±0.1~±1℃），相對濕度基數為40%（精度±2~±5℃；正壓值要求的梯度級別，隨著潔凈度的變化而從高到低變化，差值5~10Pa。

電子行業無塵車間的冷負荷比其他行業的無塵車間大很多，單位冷負荷達400~500W/㎡很常見。由于冷負荷大，一般情況下，冬季也需要供冷，這是電子行業的特點。

電子行業生產工藝過程產生的有毒有害氣體種類繁多，且量也大，所以需要的排風量和新風量也大。新排風的節能措施也是行業特點之一，排放前要做處理，使排風負荷環保要求。

電子行業生產工藝有抗靜電、抗微振的要求，并且大宗氣體和特種氣體種類多，對純度和潔凈度要求高：

1.電子制造廠萬級潔凈室內的噪聲級(空態)：不應大于65dB(A)

2.電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于60%，水平單向流潔凈室不應小于40%，否則就是局部單向流了。

3.電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa

4.電子制造行業萬級潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的**值：

5.補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。

6.保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。